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    自動化對接烘烤線成功案例

    半導體設備洗滌自動烘干-蘇州晶洲

    來源:本站 最后更新:2020-07-24 11:28:31 作者:耐美特智能烘干設備 瀏覽:196次

    一、半導體設備洗滌自動烘干主要技術參數
    1、內膽尺寸:左右雙內膽,單個內膽尺寸:寬2700*高1400*深2600mm;
    2、外形尺寸(約):寬6610*高3500*深3025mm;
    3、溫度范圍:常溫~+300℃可調 ;
    4、溫度波動度:≤±1℃;
    5、溫度均勻度:≤±5℃(空載恒下測試);
    6、升溫速率:≤8℃/min;
    7、潔凈度:Class100級(≥0.5μm塵粒≤3.5顆/升)(工作室);
    8、外殼溫度:溫升不超過環境+25℃,門周邊除外。
    9、電源:三相五線制,220V,50HZ;
    10、總功率:120KW;

    二、半導體設備洗滌自動烘干箱體結構特征
    1、外殼材料:采用2mm厚Q235冷軋鋼板(強度、塑性和焊接綜合性能最好)折彎焊接制作;
    2、內膽材料:采用1.5mm厚SUS304不銹鋼板制作;保持內膽清潔無塵,防生銹、耐腐蝕;內部鈑金與保溫層全部滿焊,防止保溫層隔熱棉泄漏,以保證潔凈度。
    3、箱體骨架:采用50*50*3mm角鐵制作;保持箱體內外各個面的承載強度,并保留熱脹冷縮系數,可防止箱體變形。
    4、密封材料:密封條采用進口高溫硅膠制作,可耐溫不變形,門與箱體連接密封,加強密封效果;
    5、門:自動上下開門,從下往上開啟,共計2扇門,左右獨立控制。配有升降馬達,勻速控制。
    三、半導體設備洗滌自動烘干培訓
    免費進行技術培訓

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